Hatina 4S

超紧凑型解决方案,用于测试 MEMS 与磁传感器

灵活且低成本的 ATE,支持超高并行度,适用于测试 MEMS 器件(加速度计、陀螺仪、MEMS 麦克风、压力、温度、湿度、气体传感器 等)以及 磁传感器

原因

高引脚数电压/电流通道(V/I)与动态电源系统(DPS)。
高引脚数数字通道。
集成多路复用器,实现极致灵活性。
零占地空间,单站点成本低。
轻松集成至自动化系统。

产品展示

Microtest 推出的 Hatina 4S 是一款紧凑型、高度多功能的自动化测试设备(ATE)平台,专为 MEMS 器件的最终测试和晶圆级测试(WS)而设计,适用于大规模量产环境。

凭借模块化架构,该平台可支持多种激励系统,适用于湿度、压力与温度传感器、麦克风、磁力计,以及用于加速度计与陀螺仪的扭转/倾斜单元。其高并行度(在乒乓模式下可扩展至 140 个测试点)大幅提升测试吞吐量并降低单站点成本。

该系统体积极小(高 538 mm × 宽 360 mm × 深 330 mm),便于集成至现有处理设备中,确保与自动化系统无缝兼容。

技术亮点包括:
– 专利无线圈磁场发生器(最高达 400 高斯),支持 3D 旋转
– 麦克风测试功能,具备高达 75 dB 信噪比、140 dB 声压级、<20 dB 噪声底噪和 <0.1 dB 精度
– 可实现 −40 °C 至 +180 °C 的气候测试舱
– 支持对 32 个测试点并行测试的加速度计/陀螺仪模块
– 配备 192 个 PPMU 和 320 路数字通道

简而言之,Hatina 4S 是一款适用于广泛 MEMS 应用及磁传感器的紧凑型、高性价比、高并行度测试解决方案,完美适配现代化测试环境中对单元成本控制与生产效率提升的需求。

特征/配置

Hatina 4S Sites

Hatina 4S Microphone

Hatina 4S Magnetic

Hatina 4S MEMS

Dimensions

D⨯W⨯H
330 mm ⨯ 360 mm ⨯ 538 mm
330 mm ⨯ 360 mm ⨯ 538 mm
330 mm ⨯ 360 mm ⨯ 538 mm
330 mm ⨯ 360 mm ⨯ 538 mm

Analog/Power

DCS sources
8 DCS @ 1A sources mux in 256 different positions
up to 40 DCS_MP
Voltage range: ±1V, ±3V, ±5V, ±10V; -10V/+30V; -10V/+55V
Current ranges: 20uA, 200uA, 2mA, 20mA, 4A

Digital

Digital channels & PPMU
48 digital channels & PPMU_60mA sources mux in 256 different positions + 20 digital channels no mux – 16 PPMU no mux
320 Digital channels Up to 192 PPMU
New Era board
up to 24 modules: 1 module (20 digital channels) + analog part (16 PPMU )

Measurements Instruments

Microphone64 board
up to 8 audio modules - to test digital & analog MEMS microphones + AWG per site
Rate Table
Control available

Hatina 4S Datasheet

应用领域

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